ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵 MBS-053

2025/06/28 15:37:06

機(jī)械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。

通過與油旋轉(zhuǎn)真空泵或干泵等粗抽泵組合使用，在粗抽泵抽速下降的壓力范圍內(nèi)，可以顯著提高粗抽泵的抽速。

應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞測試、太空探測、真空浸漬、真空干燥等眾多領(lǐng)域。

ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵 MBS-053

通用型機(jī)械式增壓泵

羅茨型 / 有效排氣速度顯示 / 具有各種保護(hù)功能

長處

這是一種小型羅茨型真空泵。

在輔助泵抽速降低的壓力范圍內(nèi)，可以顯著提高抽速。

通過采用直流無刷電機(jī)，它可以從大氣壓中排出真空，因為它根據(jù)負(fù)載以*轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

磁耦合結(jié)構(gòu)確保油不會泄漏到泵外部。

泵內(nèi)部的密封采用非接觸式密封，大大減少了機(jī)械損失。

（與以前的型號相比，功耗降低了約 60%）

通過切換驅(qū)動器盒內(nèi)的電源，可以在 100V 和 200V 系統(tǒng)下運(yùn)行。

規(guī)范

用法說明

1機(jī)械增壓泵不能單獨(dú)使用。請務(wù)必將其與輔助泵組合使用。

2機(jī)械增壓泵專為在線使用而設(shè)計。

將法蘭固定在排放側(cè)，并將泵安裝在該法蘭上。

3如果長時間未運(yùn)行，在初次運(yùn)行中，潤滑油在啟動時會起泡，因此請使用輔助泵排氣進(jìn)行脫氣。

4在大氣壓附近運(yùn)行與輔助泵的抽速大致相同，因此增壓泵的特性不顯現(xiàn)。

5當(dāng)潤滑油量過規(guī)定量時，油會進(jìn)入轉(zhuǎn)子室內(nèi)部。

6請務(wù)必檢查電源電壓是否與泵的設(shè)定電壓相匹配。

7它沒有配備用于安裝泵的底座。法蘭是固定的。

8它沒有配備用于攜帶泵的手柄。

9電源線和應(yīng)力消除裝置是可選的。

10消耗品需要定期維護(hù)。