LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L-TN

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L-TN

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L-TN

質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào)，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開(kāi)度，以此進(jìn)行流量的控制。

核心技術(shù)架構(gòu)

傳感系統(tǒng)：

熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計(jì)，溫度分辨率達(dá)0.01℃

壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）

科里奧利式：直接質(zhì)量測(cè)量，精度可達(dá)±0.1%讀數(shù)

閥體系統(tǒng)：

壓電瓷閥（響應(yīng)時(shí)間<10ms）

電磁比例閥（壽命>10?次循環(huán)）

典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

離子注入（BF?/PH?配氣）

2. 新能源領(lǐng)域：

燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）

光伏硅烷沉積（流量波動(dòng)<±0.3%）

3. 制藥行業(yè)：

生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）

LINTEC（琳得科）是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商，部位于日本，成立于1954年。憑借過(guò)半個(gè)世紀(jì)的技術(shù)積累與創(chuàng)新，LINTEC已成為電子、汽車(chē)、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應(yīng)商，以*的產(chǎn)品質(zhì)量和*的解決方案聞名。
核心技術(shù)領(lǐng)域
LINTEC的核心業(yè)務(wù)涵蓋三大方向：
電子材料：生產(chǎn)半導(dǎo)體封裝膠帶、光學(xué)薄膜、導(dǎo)電膠帶等，廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦及半導(dǎo)體制造，助力高精度電子元件加工。
工業(yè)膠帶：提供汽車(chē)粘接、建筑密封等高性能膠帶，以耐候性、強(qiáng)粘著力著稱(chēng)，服務(wù)于豐田、本田等企業(yè)。
印刷與包裝材料：開(kāi)發(fā)環(huán)保型標(biāo)簽、裝飾膜等，兼顧美觀(guān)與功能性，適用于食品、醫(yī)藥等行業(yè)。