LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3582L

LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3582L

質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。

質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。

型應用場景

1. 半導體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

2. 新能源領域：

燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）

鋰電材料燒結（N?/O?混合控制））

3. 制藥行業(yè)：

生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯(lián)控）

4. 科研實驗：

催化反應研究（多路氣體并行控制）

技術發(fā)展趨勢

智能化升級：

集成AI預測性維護功能

5G遠程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化

微型化發(fā)展：

MEMS流量傳感器（芯片級集成）

適用于便攜式分析儀器

多物理場耦合：

流量-溫度-壓力協(xié)同控制

適應臨界流體等特殊工況

綠色制造：

無鉛焊接工藝

可再生材料應用

LINTEC（琳得科）是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商，部位于日本，成立于1954年。憑借過半個世紀的技術積累與創(chuàng)新，LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應商，以*的產(chǎn)品質量和*的解決方案聞名。
核心技術領域
LINTEC的核心業(yè)務涵蓋三大方向：
電子材料：生產(chǎn)半導體封裝膠帶、光學薄膜、導電膠帶等，廣泛應用于智能手機、平板電腦及半導體制造，助力高精度電子元件加工。
工業(yè)膠帶：提供汽車粘接、建筑密封等高性能膠帶，以耐候性、強粘著力著稱，服務于豐田、本田等企業(yè)。
印刷與包裝材料：開發(fā)環(huán)保型標簽、裝飾膜等，兼顧美觀與功能性，適用于食品、醫(yī)藥等行業(yè)。