特征

• 
  可以將在高溫區(qū)域進(jìn)行熱等溫CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華性排氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。 “型號
  ：UR”可以達(dá)到比“型號：HR”更高的溫度。
• 
  配備氦氣密封罐裝電機(jī)，具有氣密結(jié)構(gòu)，極其安全。
• 瞬間停電對策
  采取長達(dá)1000毫秒的瞬間停電對策。
• 優(yōu)良的耐腐蝕性
  ：主要部件均采用標(biāo)準(zhǔn)的特殊表面處理，具有較高的表面硬度和優(yōu)良的耐腐蝕性。排出腐蝕性氣體時減少泵內(nèi)部的腐蝕。
• 通訊功能：
  可以讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用軟件和計算機(jī)通信，可以實現(xiàn)集中監(jiān)控。

目的

規(guī)格

*1 請勿在吸入壓力為 200 Pa 或更高的條件下連續(xù)運(yùn)行 HR300、HR600 或 HR1200。